《GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》标准

GB/T 38341-2019 是中国国家标准，标题为《微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法》（Micro-electromechanical systems (MEMS) - Test method for comprehensive environmental reliability of MEMS devices）。

该标准规定了微机电系统（MEMS）器件的可靠性综合环境试验方法，旨在评估MEMS器件在不同环境条件下的可靠性和性能。MEMS技术涉及微小机械系统、微电子器件以及传感器等领域，这些器件在各种应用中都具有重要作用。

一、范围：
本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。

二、试验项目：
高低温试验、温度循环试验、湿热试验、高压湿热试验、冲击试验、振动试验等。

三、试验设备：
恒温恒湿试验箱、PCT加速老化试验箱、冲击试验台、振动试验台等。

四、设备厂商：
环仪仪器

五、试验程序（部分）：

高压湿热试验：

概述

由于 MEMS器件的工艺、结构和封装特点，其在温度﹑湿度作用下可能会出现诸如粘附、大应力等可靠性问题。将处于不带电工作状态的待测器件放置于规定的温度，湿度、压力环境中可以极大地加速温度﹑湿度的作用。本试验是比恒定湿热加速试验(见4.2.5)更快的加速方案。

目的

本试验在器件不带电工作的情况下确定MEMS器件在温度、湿度环境下的可靠性。

设备

试验设备包括一台能工作在规定温度、湿度、气压下工作的加压温湿度试验箱和4.2.6.4.4中的相关设备。

试验条件和试验时间

表7规定了最低试验温度、湿度、压力、在加压温湿度试验箱中所有的待测器件均应达到该温度﹑湿度，若无其他规定，试验时间应不小于12 h。宜采用试验条件A。

样品检验的准备工作

试验后器件在标准环境中自然散热和散湿2 h~48 h，一般湿度试验应在48 h内完成测试，如需延
长放置时间，应将样品保存在密封袋中，可以延长至96 h，然后在标准试验条件下进行测试。

通过遵循 GB/T 38341-2019 标准，MEMS器件制造商和相关研究机构可以进行全面的环境试验，以验证这些器件在不同环境条件下的性能和可靠性。这有助于提高MEMS器件在各种应用中的稳定性和耐久性，确保它们能够在复杂的环境中正常工作。