半导体芯片高低温湿热箱(也称为温湿度循环试验箱、恒温恒湿试验箱等)是一种专门用于对半导体芯片和电子元器件进行高温、低温和湿热环境测试的设备。它可以模拟不同的环境条件,以评估芯片和元器件在极端温度和湿度下的性能和可靠性。
试验标准:
GB/T 4937.42-2023 半导体器件 机械和气候试验方法 第42部分:温湿度贮存
主要技术参数:
温度范围: B:-20℃~100℃(150℃)、C:-40℃~100℃(150℃)、D:-70℃~100℃(150℃)
湿度范围: 20% RH~98% RH
控制稳定度: 温度±0.5℃、湿度±2.0%
分布均匀度: 温度±2.0℃、湿度±3.0%
升温速率: 3℃/min(由-40℃升至30℃约25分钟)非线性空载
降温速率: 1℃/min(由30℃降至-40℃约70分钟)非线性空载
温度极限: 最高温度 150℃,最低温度-70℃
试验箱特点:
采用多翼式送风机强力送风循环,避免任何死角,可使测试区域内温度分布均匀。风路循环出风回风设计,风压、风速均符合测试标准,并可使开门瞬间温度回稳时间快。升温、降温、系统完全独立可提高 效率,降低测试成本,增长寿命,减低故障率。
半导体芯片高低温湿热箱可以在研发、生产和质量控制等领域中广泛应用,用于评估半导体芯片和电子元器件在不同温湿度条件下的性能、可靠性和耐久性。