《GB/T 4937.13-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第13部分：盐雾》标准

《GB/T 4937.13-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第13部分：盐雾》是中国国家标准化委员会发布的标准，用于评估半导体器件在盐雾环境下的耐蚀性和可靠性。该标准规定了盐雾试验的方法和要求。

一、范围：
GB/T 4937的本部分规定了半导体器件的盐雾试验方法，以确定半导体器件耐腐蚀的能力。本试验是模拟严酷的海边大气对器件暴露表面影响的加速试验。适用于工作在海上和沿海地区的器件。
本试验是破坏性试验。
本试验总体上符合IEC 60068-2-11，但鉴于半导体器件的特殊要求，采用本部分的条款。

二、试验项目：
盐雾试验。

三、试验设备：
盐雾试验箱。

四、设备厂商：
环仪仪器

五、试验程序（部分）：

按要求预处理之后，试验样品应按如下方式放置在试验箱里，使它们彼此不接触，彼此不斌挡，能自由地接受盐雾作用，腐蚀生成物和凝聚物不会从一个样品滴落在另一个样品上。试验箱中喷雾的保持时间应按4.2试验条件的要求执行。
试验期间，试验箱内的温度应保持在(35±2)℃，盐雾的浓度和喷出速度应调节到使试验区域内盐沉降率为(30±10)g/(㎡▪d)。在不低于35℃测量时，盐溶液的pH值应在6.0～7.5之间[只能用化学纯(CP级)的盐酸或氢氧化钠(稀溶液)来调整pH值]。

《GB/T 4937.13-2018》标准规定了试验装置、试验样品的选择和准备、试验条件、试验过程和评定方法等方面的要求。通过该标准进行的盐雾试验可以帮助制造商和使用者了解半导体器件在盐雾环境下的可靠性表现，指导产品设计和改进工艺。